目前常用的齒輪精度測量方法有兩種，一種是齒輪嚙合試驗法，用以判斷一對齒輪副的回轉傳動性能；另一種是幾何解析測量法，它將被測量齒輪實際齒面形狀和理論值進行比較測量。齒輪大多為漸開線齒輪，其測量原理和非漸開線齒輪的測量原理是不同的。

漸開線齒輪的測量 漸開線齒輪的測量原理

測量漸開線齒輪的齒面形狀時，測頭置于被測齒輪基圓的切線上，被測齒輪的回轉和測頭的直線運動，按照展成關系進行控制。在以往機械式齒輪測量儀中采用了基圓盤；如今儀器的軸系導軌上都裝有圓編碼器或長編碼器(長刻度尺)，由計算機按展成關系實現(xiàn)高速、高精度的NC控制(見圖1)。

圖1 漸開線齒輪的測量原理漸開線齒輪測量的可溯源性

近年來，因生產工程集團化，ISO9000得以普及，圖2所示的測量值可溯源體系的有關問題得到重視。目前，ISO正對齒輪測量儀器的精度評定方法制訂有關標準，德、美兩國已經確立了溯源體系頂端的國家機構。在日本，企業(yè)是用基于ISO標準建立起的JIS標準來確立齒輪精度的等級，由于沒有建立如圖2所示的可溯源體系，因而測量誤差值的保證體系還沒有建立起來。所以，日本齒輪工業(yè)協(xié)會組建了一個項目組，對“超精密齒輪精度檢驗評定方法的標準化”進行了研究，開發(fā)了高精度齒輪測量儀器，它適用于檢驗一般齒輪測量儀器用樣板。

圖2 精度溯源體系由大阪精機承擔制造的高精度CNC齒輪測量儀，其測量精度(重復性)為0.2～0.3μm，我們進行了如下技術開發(fā)：

(1)上下頂尖采用氣浮軸承，提高了主軸回轉精度；

(2)主軸氣浮軸承中內裝有高精度圓光柵，提高了輸出性能；

(3)齒形和齒向的測量滑座都采用了氣浮導軌，提高了測量運動性能；

(4)采用激光測長儀來檢查誤差，測量放大倍數(shù)可達10000倍。

該儀器的驅動系統(tǒng)，主軸回轉運動采用步進電機驅動，測頭的直線運動也采用步進電機驅動，二者用NC控制來實現(xiàn)漸開線或齒向的展成運動，以實現(xiàn)測量。齒距誤差按齒距等分、與齒面接觸的測頭的位移變化量，通過激光測長系統(tǒng)進行檢測。位移檢測元件安裝在平行簧片上，而測座上裝有反射鏡，激光束照射其上進行齒面精度的測量(見圖3)。

圖3 利用激光測量齒面目前，該儀器已安置于日本電氣通訊大學內，進行儀器測試、數(shù)據采集，以分析測量的不確定度。

非漸開線齒輪的測量

在所討論的漸開線齒輪齒面的檢測中，其檢測儀器主軸的回轉和測頭的直線運動均采用CNC控制以實現(xiàn)同步